MEMS : dispositifs Microengineered qui convertissent entre électrique et toute autre forme d'énergie et dépendent principalement de leur structure mécanique en trois dimensions pour leur fonctionnement, de cette manière, la microtechnique est un terme très large, comme on peut s'y attendre. Elle couvre non seulement les MEMS mais aussi la fabrication des CI et microélectronique plus conventionnelles. En règle générale, les dispositifs dans lesquels la plupart des fonctionnalités (écart ou la largeur de la ligne, la hauteur des marches, etc.) sont au niveau ou en dessous de 100 μ m remplir les «dimensions de l'ordre de micromètres" critères. La définition de MEMS que les transducteurs signifie que le terme peut être utilisé un peu plus général que les autres définitions permettraient. Par exemple, les écrans infrarouges qui utilisent des structures suspendues pour isoler thermiquement chaque pixel ajustement bien dans cette définition que leur le fonctionnement repose sur la structure suspendue en trois dimensions, même si il n'y a aucun élément mécanique mobile à l'appareil. Il, cependant, exclure des dispositifs tels que des capteurs ou des photodiodes à effet Hall, qui reposent principalement sur leur (ou chimique) la structure pour leur fonctionnement électrique. Elle a également tendance à exclure les lasers à semi-conducteurs pour des raisons similaires, et leurs composants tels que des transistors MOSFET de puissance qui sont formées par gravure de rainures en V dans le substrat de silicium sont également exclus car ils sont des dispositifs purement électriques . Une fois que l'on est satisfait le terme microtechnique , on peut créer toutes les sous-disciplines pertinentes que l'on exige simplement en prenant le nom de la discipline classique et en ajoutant le micro de préfixe à elle. Ainsi, nous avons la microfluidique, la micromécanique, la micro-lithographie, micro-usinage, etc., et, bien sûr, de la microélectronique. Ce commentaire désinvolte ne signifie pas que ces disciplines sont tout simplement la discipline macro-échelle avec de plus petits nombres entré dans les équations. Dans de nombreux cas, cela peut être fait, mais dans d'autres, ce qui peut entraîner des résultats erronés. Il est destiné à souligner qu'il ya relativement peu de surprises dans la
Pourquoi Ingénieurs éviter d'utiliser un crayon pour le marquage sur métaux?